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笑啥
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可以用正己烷稀釋,然后旋涂試試
旋涂高轉(zhuǎn)速完全可以70以下,假如想把膜取下來,先旋涂一層光刻膠(不曝光),再上PDMS,等PDMS固化后,最后加溶劑,膜就浮上來了
多試幾次不同轉(zhuǎn)速就能控制厚度
難了
.我們可以做到20um