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huanihaoma銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
HD4100 PI 負性光刻膠 殘膠 已有3人參與
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| 本人采用HD4100負性光刻膠,為啥軟烘不足,顯影后會出現(xiàn)殘膠,提高軟烘溫度,殘膠就沒有了,可以從原理方面解釋嗎? |
微納尺度全分析 |
金蟲 (正式寫手)
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涂膠后的softbake,影響光刻膠內(nèi)的溶劑含量。負膠的話,理論上不應該有殘留。漏光或者反射光會導致特定區(qū)域的殘留。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
專家顧問 (著名寫手)
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專家經(jīng)驗: +651 |
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