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huanihaoma銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
HD4100 PI 負(fù)性光刻膠 殘膠 已有3人參與
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| 本人采用HD4100負(fù)性光刻膠，為啥軟烘不足，顯影后會(huì)出現(xiàn)殘膠，提高軟烘溫度，殘膠就沒有了，可以從原理方面解釋嗎？ |
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bobo201266
金蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
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涂膠后的softbake,影響光刻膠內(nèi)的溶劑含量。負(fù)膠的話，理論上不應(yīng)該有殘留。漏光或者反射光會(huì)導(dǎo)致特定區(qū)域的殘留。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2019-07-15 18:37:08
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