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iiiiiiicgg新蟲 (小有名氣)
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[求助]
光刻技術(shù)
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各位大神咨詢一下實(shí)驗(yàn)遇到的光刻問題 需要刻深寬比200微米比50微米的圓柱 用的SU8-2075光刻膠 （1）刻出來的厚度達(dá)不到要求，只有100微米 （2）刻出來有很多裂紋均勻分布 實(shí)驗(yàn)參數(shù)按照說明書搞的，做了好幾次做不好，希望有大神賜教 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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wfg0915
鐵蟲 (初入文壇)
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2樓2024-05-14 09:16:59
Alancaojun
新蟲 (小有名氣)
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3樓2024-05-27 15:57:17
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