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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 網(wǎng)絡生活區(qū) » 有獎問答 » 實驗討論 » 光刻技術
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iiiiiiicgg新蟲 (小有名氣)
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[求助]
光刻技術
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各位大神咨詢一下實驗遇到的光刻問題 需要刻深寬比200微米比50微米的圓柱 用的SU8-2075光刻膠 （1）刻出來的厚度達不到要求，只有100微米 （2）刻出來有很多裂紋均勻分布 實驗參數(shù)按照說明書搞的，做了好幾次做不好，希望有大神賜教 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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wfg0915
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2樓2024-05-14 09:16:59
Alancaojun
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3樓2024-05-27 15:57:17
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