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幸運(yùn)菜狗新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射起輝不了
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靶材表面不斷閃爍,但是就起輝不成功。 采用的直流濺射CuO,通的氬氣。 哪位好心人幫忙解答一下原因 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲 (正式寫手)

版主 (知名作家)
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以下幾種情況可以引起起輝不正常: 1.靶材(陰極)短路了,可以用搖表測(cè)一下(也可用萬用表,不過萬用表的電壓太低,可能測(cè)不準(zhǔn)確) 2.靶材表面太臟,起輝時(shí)打弧放電厲害,導(dǎo)致電源滅弧太頻繁無法穩(wěn)定起輝,可先低功率用純氬燒會(huì)兒靶 3.磁塊可能松動(dòng)甚至翻轉(zhuǎn)了,導(dǎo)致磁場(chǎng)變?nèi)?這會(huì)造成起輝困難 |

金蟲 (正式寫手)

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