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幸運(yùn)菜狗新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射起輝不了
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靶材表面不斷閃爍，但是就起輝不成功。 采用的直流濺射CuO，通的氬氣。 哪位好心人幫忙解答一下原因 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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歡迎211本科同學(xué)，過(guò)A區(qū)國(guó)家線，A區(qū)非偏遠(yuǎn)一本，交叉學(xué)科課題組
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wolfghost
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【答案】應(yīng)助回帖
qfw_68: 博學(xué)EPI+1, 積極應(yīng)助獎(jiǎng)勵(lì)！ 2023-06-26 09:55:06
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以下幾種情況可以引起起輝不正常: 1.靶材(陰極)短路了,可以用搖表測(cè)一下(也可用萬(wàn)用表,不過(guò)萬(wàn)用表的電壓太低,可能測(cè)不準(zhǔn)確) 2.靶材表面太臟,起輝時(shí)打弧放電厲害,導(dǎo)致電源滅弧太頻繁無(wú)法穩(wěn)定起輝,可先低功率用純氬燒會(huì)兒靶 3.磁塊可能松動(dòng)甚至翻轉(zhuǎn)了,導(dǎo)致磁場(chǎng)變?nèi)?這會(huì)造成起輝困難 |
2樓2023-06-15 11:25:21
野人禾禾
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3樓2023-06-29 12:25:15
mzp123
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4樓2023-07-17 13:01:45
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