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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 光刻膠問題
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蘭and大銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻膠問題
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請問，我要用剝離工藝在硅基片上做一層厚度為2微米，半徑為300微米的金屬膜，周圍是硬化的光刻膠AZ5214，中間是上面所說大小的孔洞，之后用磁控濺射做金屬薄膜，這樣的話邊緣部分的光刻膠會不會因?yàn)榭锥催^大而變形？之后影響金屬膜的的邊緣質(zhì)量？因?yàn)闆]見過有做這種厚度和面積比這么小的器件的相關(guān)文獻(xiàn)，請大神指導(dǎo) @hwweven 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
2樓2019-11-09 18:21:12
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