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上�？萍即髮W材料器件中心合作導師科研成果速遞
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上海科技大學材料器件中心簡稱smdl，中心依托信息學院“電子信息”和物質學院“材料與化工”兩個專業(yè)碩士學位點，與相關產(chǎn)業(yè)界聯(lián)合開展專業(yè)型碩士培養(yǎng)工作，致力于培育理論扎實、技術過硬的微納制造工藝工程技術人才，真正滿足產(chǎn)業(yè)一線的實際用人需求。預計2027年起在讀研究生總人數(shù)將達到每年150人。 2025年度，上科大材料器件中心（smdl）支撐用戶發(fā)表且致謝平臺的科研成果共113篇，發(fā)表在nature materials、nature photonics、elight、light: science and applications、acs nano、small等期刊上。以下是部分用戶科研成果精選展示（排名不分先后）。 于游課題組實現(xiàn)柔性生物電子賦予機器人“觸感” 論文題目：printed sensing human-machine interface with individualized adaptive machine learning 發(fā)表期刊：science advances 出版日期：2025-09-10 于游課題組結合多材料墨水直寫與精密激光加工技術，開發(fā)了一種基于3d打印多模態(tài)傳感柔性生物電子與個性化自適應機器學習的人機交互界面，實現(xiàn)了柔性電子與軟體機器手傳感器陣列的一體化、低成本、大規(guī)模制造。其自適應機器學習算法在線性映射網(wǎng)絡和輕量化卷積神經(jīng)網(wǎng)絡的協(xié)同下，對新用戶僅需3次手勢重復即可完成個性化適配，在14種復雜手勢識別中平均準確率達98.07%，系統(tǒng)延遲僅0.1秒；同時，機器手對20種日常物體的材質識別準確率超過98%。在前臂截肢志愿者測試中，系統(tǒng)手勢意圖識別準確率穩(wěn)定在94.36%，打通了從控制、手勢識別到機器人觸覺感知反饋的交互路徑，并且進一步在智能假肢方面展現(xiàn)出巨大的應用潛力。 smdl支持設備與技術等情況：電子束沉積系統(tǒng)、多源爐電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、3d掃描電子顯微鏡、表面輪廓儀-臺階儀kla、多靶材濺射儀sputter 非磁性金屬鍍膜等 doi：10.1126/sciadv.adw3725
馮繼成課題組3d打印半導體納米結構并組裝成晶體管 論文題目：gas-phase assembly of semiconductor nanostructures into functional field-effect transistors 發(fā)表期刊：small 出版日期：2025-09-01 馮繼成課題組開發(fā)了一種名為 “氣相3d打印” 的創(chuàng)新半導體制造技術，通過“人工閃電”在惰性氣體中制備出尺寸小于5納米、無配體污染的半導體納米顆粒（包括si、ge、zno、in₂o₃、gaas等），并利用電場引導將這些納米顆粒精準組裝成三維結構，成功制備出功能性場效應晶體管。該技術無需傳統(tǒng)光刻工藝，實現(xiàn)了全干法、高純度的半導體加工，突破了液相法固有的配體污染和光刻技術分辨率限制。實驗表明，基于氧化銦（in₂o₃）打印的頂柵晶體管開關比超過1000倍，載流子遷移率達8.33 cm²·v⁻¹·s⁻¹。該研究為后摩爾時代芯片制造提供了無需光刻、可三維異質集成的新方案，在柔性電子、量子點器件等領域具有應用潛力。 smdl支持設備與技術等情況：高速高分辨率無掩膜板光刻儀mla、步進式光刻機等 doi：10.1002/smll.202504668
周靖課題組在高分辨紅外偏振探測領域取得進展 論文題目：high discrimination infrared polarimetry via intrinsic anisotropic photogating in black phosphorus meta-polarization detectors 發(fā)表期刊：nature communications 出版日期：2025-11-19 周靖團隊通過利用黑磷（bp）中本征各向異性光門控誘導的帶調制效應，成功研制出一種無濾光片型超緊湊的偏振光探測器。該探測器在近紅外至中紅外波段實現(xiàn)了趨于無窮大（∞/−∞）的偏振消光比（per），并具有高比探測率。即使在黑體輻射條件下，該器件仍能實現(xiàn)per = ∞/−∞，其比偏振角探測率高達 3×107 cm hz0.5 w−1 degree−1 。此外，該探測器的響應時間可達微秒級。這項工作不僅克服了在簡單器件結構中實現(xiàn)寬波段高偏振鑒別率和高靈敏度的難題，還為開發(fā)高性能超緊湊偏振光探測器提供了一條極具前景的新途徑。 smdl支持設備與技術等情況：高速高分辨率無掩膜板光刻儀mla、3d掃描電子顯微鏡、勻膠通風櫥、小樣品有機清洗通風櫥(普通化學通風柜4)等 doi：10.1038/s41467-025-65128-w
周靖課題組在長波紅外圓偏振成像領域取得突破 論文題目：circular polarimetric imaging with a metamaterial integrated long-wavelength infrared focal plane array 發(fā)表期刊：advanced science 出版日期：2025-07-25 周靖課題組與合作者成功開發(fā)出一種基于超材料集成焦平面陣列的長波紅外圓偏振成像技術，通過將手性超構反射鏡陣列與320×256像素的量子阱紅外光電探測器（qwip）芯片原位集成，在10╟11 μm光譜范圍內(nèi)實現(xiàn)了高性能圓偏振探測。該器件采用雙偏振選擇機制，使相同手性結構的像素圓偏振消光比（cper）高達23.3，棋盤格構型下仍達5.67，同時峰值響應度較標準器件提升9.13倍，噪聲等效斯托克斯s3參數(shù)差低至1.16×10⁻⁴。研究團隊通過納米級穿孔對準工藝解決了偏振結構集成中的精準定位問題，首次在長波紅外波段實現(xiàn)了緊湊型、高靈敏度的圓偏振實時成像，顯著提升了背景抑制與目標突出能力。該技術突破了傳統(tǒng)分立光學元件在體積、速度和集成度上的局限，為生物分子診斷、環(huán)境遙感、軍事光學加密等應用提供了新一代片上偏振成像解決方案。 smdl支持設備與技術等情況：電子束曝光機 全自動ebl、勻膠通風櫥、3d掃描電子顯微鏡、白光輪廓儀、等離子刻蝕系統(tǒng) 三五族刻蝕機等 doi：10.1002/advs.202509292
鄒毅課題組在超緊湊手性光子器件領域取得突破 論文題目：accelerated exceptional point encirclement in anti-parity-time symmetric systems for ultra-compact chiral mode switching 發(fā)表期刊：applied physics reviews 出版日期：2025-11-04 鄒毅課題組與合作者提出了一種基于反宇稱時間（anti-pt）對稱系統(tǒng)的創(chuàng)新設計，成功實現(xiàn)了超緊湊手性模式切換。該研究通過聯(lián)合調控波導的損耗與寬度，在哈密頓參數(shù)空間中沿黎曼面邊界進行快速參數(shù)演化，在保持低絕熱性的同時，將器件尺寸顯著縮減至30微米，不足傳統(tǒng)反pt對稱系統(tǒng)的一半。實驗驗證表明，該系統(tǒng)在1580納米波長附近可實現(xiàn)19分貝的高對比度手性模式輸出，同時通過非絕熱躍遷機制增強了對制造誤差的魯棒性。這項工作為發(fā)展高密度集成的片上光子器件（如光學邏輯門、信號路由器等）提供了新思路。 smdl支持設備與技術等情況：電子束曝光機 全自動ebl、3d掃描電子顯微鏡、hbr刻蝕機 硅刻蝕、電子束沉積系統(tǒng)等 doi：10.1063/5.0257153
原文詳見鏈接：https://mp.weixin.qq.com/s/rV_U8 ... &lang=zh_CN |
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