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245796795銅蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
光敏樹(shù)脂中分子量和分子量分布影響
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各位前輩好，小蟲(chóng)想請(qǐng)教下。 在光敏樹(shù)脂成分中，所采用的主體樹(shù)脂的分子量和分子量分布對(duì)光敏樹(shù)脂的整體性能有哪些影響？比如分子量過(guò)大過(guò)小以及分子量分布寬窄？ 1:主體樹(shù)脂的分子量大小影響著整體光敏樹(shù)脂的黏性和流動(dòng)性，分子量越大，樹(shù)脂的粘度越高，分子間相互作用力較強(qiáng)，使得樹(shù)脂流動(dòng)性降低。 2:分子量和分子量分布都影響光刻圖案的分辨率和形狀。過(guò)高或過(guò)低的分子量都會(huì)影響光敏樹(shù)脂的性能。分子量分布過(guò)寬會(huì)是光敏樹(shù)脂光刻分辨率和精度變差？ 3:分子量大小對(duì)光敏樹(shù)脂的機(jī)械性能有著較大影響。 目前我自己歸納了幾點(diǎn)不知道對(duì)錯(cuò)，還請(qǐng)各位前輩指證。如果有文章或書(shū)本出處懇請(qǐng)讓小蟲(chóng)學(xué)習(xí)下。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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