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sdnuzx2009金蟲 (小有名氣)
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[求助]
SiC單晶小面指什么？
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| 請(qǐng)問一下碳化硅單晶4H-SiC生長(zhǎng)小面指什么？怎么形成的？ |
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六兩廢銅
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【答案】應(yīng)助回帖
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sdnuzx2009: 金幣+50, 博學(xué)EPI+1, 謝謝 2023-04-03 08:58:21
sdnuzx2009: 金幣+50, 博學(xué)EPI+1, 謝謝 2023-04-03 08:58:21
| SiC具有較多種類的晶型，常見晶型有2H-SiC、3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC等，4H-SiC有一個(gè)六方格點(diǎn)和一個(gè)立方格點(diǎn)，雙原子層以ABCB-ABCB形式連接；多型體的穩(wěn)定性與生長(zhǎng)環(huán)境、籽晶的極性、摻雜雜質(zhì)等多個(gè)因素有關(guān)系，在超過2400℃的物理氣相傳輸法中，6H-SiC和4H-SiC都是常見的多型體，在相對(duì)較低的溫度和壓強(qiáng)下會(huì)優(yōu)先生長(zhǎng)4H-SiC單晶；而6H-SiC會(huì)在較高的溫度和壓強(qiáng)下優(yōu)先生長(zhǎng)。除了溫度和壓強(qiáng)以外，當(dāng)生長(zhǎng)環(huán)境富C時(shí)，4H-SiC比6H-SiC更易優(yōu)先生長(zhǎng)。 |
sdnuzx20092樓2023-04-01 10:28:13
sdnuzx2009
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3樓2023-04-03 08:58:03
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