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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 高分子 » 高分子化學 » 關于旋涂制膜的玄學
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小白zhen菜新蟲 (小有名氣)
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[交流]
關于旋涂制膜的玄學 已有1人參與
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請問三氟乙酸對硅片影響大嗎？ 我在旋涂過程中先把硅片空轉幾次就會旋涂出來很均勻的膜（猜測可能是腔內有揮發(fā)的三氟乙酸氣氛），可是當把硅片密封在三氟乙酸的培養(yǎng)皿內后，再去旋涂，硅片上面基本上留不下膜？這是什么原因呢？？ 請大神指導。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2022-09-18 15:23:08
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