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niu_yt新蟲 (初入文壇)
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[求助]
parylene 沉積裂解區(qū)管壁有黑色臟物，求助是啥原因?qū)е碌?
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| CVD沉積parylene C的時候，在裂解區(qū)的管壁上總是有黑色臟物沉積（通過后續(xù)空氣中加熱 可以去除），但想請教下有經(jīng)驗的蟲友們這個黑色臟物是什么原因?qū)е碌�，會影響最終parylene C薄膜的性能嗎？ |
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