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[求助]
硅片清洗,去損傷層
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請問硅片去損失層和rca清洗,哪個步驟在前面?因為我買的硅片質(zhì)量較差,去損傷層的時候,溶液直接變黃,應(yīng)該是鐵離子導(dǎo)致的,,但這樣的話,硅片直接去了一層,那我還有必要進行rca嗎?另外sc2溶液原理上是hcl去除金屬離子,但為什么我泡了50分鐘還是不變色呀。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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