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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 等離子體清洗求助
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者veil777將贈送您 20 個金幣 | |||
veil777新蟲 (初入文壇)
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[求助]
等離子體清洗求助
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如題，本人使用等離子體清洗機清洗工件(材料為無氧銅)時，工件表面由紫紅色變?yōu)椴糠謳{(lán)色，和灰色，這些起灰的部分可以用棉球沾酒精擦掉，查閱資料二價的水合銅離子呈藍(lán)色，可能是被氧化。實驗使用的條件是Ar清洗5min，流量150SCCM，電極功率400W，氣壓150m乇(約20Pa)，清洗完畢抽真空充空氣恢復(fù)至大氣壓。想請各位蟲友幫忙分析下可能是什么環(huán)節(jié)引入了氧化？是大氣抽至150m乇下殘留的氧氣參與了放電氧化亦或是功率和時間偏大導(dǎo)致充空氣恢復(fù)大氣壓步驟引入的銅被氧化？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2021-11-15 19:51:08
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