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EBL工藝
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1、EBL工藝中，定影時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，對(duì)Pattern（50nm的小島）有什么影響？ 電子束光刻膠：PMMA A4 顯影：四甲基二戊酮：異丙醇=1:3,120s 定影：異丙醇，原本應(yīng)該30s，結(jié)果手抖樣品沒(méi)拿出來(lái)泡了53s。 2、另外想請(qǐng)教各位實(shí)驗(yàn)達(dá)人們，是怎么夾取樣品的呢？有沒(méi)有什么好用的工具推薦？謝謝！ |
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2樓2021-06-07 11:10:12
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