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lawles新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻膠顯影不完全，總有一層膠鋪在底面
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大神們好，我之所以要用到光刻膠是為了制作紙質(zhì)叉指電極，由于導(dǎo)師和我都是第一次接觸光刻膠，遇到問題后難以解決，所以煩請(qǐng)大神們能夠不吝賜教，下面是我的操作步驟，謝謝 1)濾紙作為基底，SU-8 1070作為光刻膠 以600rpm速率勻膠后，65℃預(yù)烘15min,95℃預(yù)烘4h. 2)20W的LED紫外燈曝光45s 3)65℃后烘15min，95℃后烘45min 4)使用PGMEA顯影 5)135℃堅(jiān)膜2h 現(xiàn)在遇到問題是在顯影過程中發(fā)現(xiàn)未曝光部分的膠在顯影液形成凝膠體后卻難以分解，以至于曝光區(qū)的負(fù)膠膨脹變形 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
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0703化學(xué)學(xué)碩 288分
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接收調(diào)劑
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293求調(diào)劑
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成果系統(tǒng)訪問量大，請(qǐng)15分鐘后再嘗試。由此給您造成的不便，敬請(qǐng)諒解。
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環(huán)境工程學(xué)碩288求助調(diào)劑
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