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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 磁控濺射參數(shù)問題
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磁控濺射參數(shù)問題
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現(xiàn)在用磁控濺射射頻源濺射石墨靶，氣壓0.5到1pa，氣體流量20，30 功率從70到150w都有,濺射一小時但是襯底上沒有膜，或者是非常非常薄的膜。這樣設置有錯誤嗎？ @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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7樓2019-08-18 08:46:49
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8樓2023-10-16 23:36:34
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