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Q霜月新蟲 (初入文壇)
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[求助]
研磨單晶硅片時,<111>晶向和<100>晶向有差別嗎? 已有2人參與
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制造單晶硅片時,研磨片過程中,<111>晶向和<100>晶向有差別嗎? <111>晶向原子面密度大,是不是需要增大研磨時的壓力? |
金蟲 (正式寫手)
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1:研磨機(jī)不論是高能球磨還是納米砂磨都無法觸及原子結(jié)構(gòu),頂多也就二三十納米的層級,基本上不會影響晶型; 2:樓主提到的研磨壓力應(yīng)該是指增加棒銷旋轉(zhuǎn)速度從而增大研磨剪切力吧,若是自吸式砂磨機(jī)幾乎沒有壓力一說,若是機(jī)封式砂磨機(jī),壓力也只是隔膜泵引入的輸送料和打出料的動力,也幾乎不會對研磨力帶來影響。 更多關(guān)于研磨分散的問題,可以相互交流,參看這個網(wǎng)站:http://fee555.gotoip2.com/faded.asp |
新蟲 (小有名氣)
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