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angiwww鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
需要選擇一種適用于作為犧牲層的高分子材料（方便旋涂，易溶解） 已有1人參與
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最近在嘗試使用PVD做納米薄膜，使用硅片/載玻片作為基底 為了使得納米薄膜在形成之后方便剝離，需要在PVD之前先在基底上旋涂一層聚合物，然后再PVD過后利用有機溶劑（不能用水或酸）將聚合物溶解 之前嘗試使用了光刻膠Su-8，但是光刻膠在加熱固化后很難溶解。利用NMP可以使其溶脹并且從基底上脫離，但是溶脹了的光刻膠仍然粘附在產品納米薄膜上。 查閱了一些資料，PAA似乎是很好的一種犧牲層，但是PAA需要用水來溶解，而我的產品會與水、有機酸發(fā)生反應，只能使用其他有機溶劑例如乙醇，丙酮，DMF，DMSO，NMP等。查到有說PMMA和PS的溶解性比較好的，但是不知道多少分子量的比較合適并且方便購買？ 因此在這里求助各位 |
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angiwww
鐵蟲 (初入文壇)
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3樓2021-08-05 09:35:29
liu741438394
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4樓2021-08-05 11:59:47
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